干泵式氦质谱检漏仪TA-830D半导体行业专用_产品中心
干泵式氦质谱检漏仪TA-830D半导体行业专用
2020-04-20  信息编号:1108027
价格:¥158000.00/套
供应:无限制套
关键词:氦气检漏仪 氦质谱检漏仪
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干泵式氦质谱检漏仪TA-830D产品介绍 TA-830D型是一款配置无油干泵的氦质谱检漏仪。适用于对高清洁的真空设备进行检漏 干泵式氦质谱检漏仪TA-830D主要技术指标 小可检漏率:5×10-13Pa?m3/s 漏率显示范围:1×10-3—1×10-13Pa?m3/s 启动时间:≤3min 响应时间:≤1.0s 检漏口的高压力:1500Pa 干泵抽速:10m3/h(166L/MIN) 极限压强:5×10-4Pa 电源要求:220V,50Hz,单相,10A 工作环境:5-35℃ 相对湿度:≤80% 外形尺寸:550(W)×420(D)×700(H) 重量:65kg 干泵式氦质谱检漏仪TA-830D主要配置 1. 干泵检漏仪专用分子泵 2. 英国爱德华干泵 3. 配置标准漏孔 4. 美国AD放大器 5. 采用质谱专用模块 6. 台达触摸彩屏
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