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  • 好的洁净车间设计不仅能节省能源、降低运行成本、降低人力投入,而且可以给生产提供安全可靠的保证。而洁净度要求越高,温湿度控制精度越高则洁净室投资和运行成本越高,因此在大环境洁净度或温湿度要求相对较低的情况下,将一些关键的工艺设备布置在较高洁净度或温湿度控制区域内是集成电路制造洁净厂房的设计趋势。

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