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关键词:校准校验仪器仪表 计量维修仪器仪表
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集成电路测试仪是对集成电路进行测试的专用仪器设备。集成电路测试是保证集成电路性能、质量的关键手段之一。集成电路测试技术是发展集成电路产业的三大支撑技术之一，因此，集成电路测试仪作为一个测试门类受到很多国家的高度重视。40年来，随着集成电路发展到*四代，集成电路测试仪也从较初测试小规模集成电路发展到测试中规模、大规模和**大规模集成电路，到了八十年代，**大规模集成电路测试仪进入全盛时期 [1] 按集成电路分类：数字集成电路测试仪和模拟集成电路测试仪按功能分类：集成电路功能测试仪和集成电路参数测试仪按形式分类：便携式集成电路测试仪和台式集成电路测试仪集成电路测试仪的发展过程可以粗略地分为四个时代 [2] 。**代始于1965年，测试对象是小规模集成电路，可测管脚数达16只。用导线连接、拨动开关、按钮插件、数字开关或二极管矩阵等方法，编制自动测试序列，仅仅测量IC外部管脚的直流参数。*二代始于1969年，此时计算机的发展已达到适用于控制测试仪的程度，测试对象扩展到中规模集成电路，可测管脚数24个，不但能测试IC的直流参数，还可用低速图形测试IC的逻辑功能。这是一个飞跃。*三代始于1972年，这时的测量对象扩展到大规模集成电路（LSI），可测管脚数达60个，较**的进步是把功能测试图形速率提高到10MHz。从1975年开始，测试对象为大规模、**大规模集成电路（LSI/VLSI），可测管脚剧增到128个，功能测试图形速率提高到20MHz。不但能有效地测量CMOS电路，也能有效地测量TTL、ECL电路。此时作为独立发展的半导体自动测试设备，无论其软件、硬件都相当成熟。1980年测试仪进入*四代，测量对象为VLSI，可测管脚数高达256个，功能测试图形速率高达100MHz，测试图形深度可达256K以上。测试仪的智能化水平进一步提高，具备与计算机辅助设计（）连接能力，利用自动生成测试图形向量，并加强了数字系统与模拟系统的融合。有些系统实现了与激光修调设备连机工作，对存储器、A/D、D/A等IC芯片进行修正。从1970年仙童(Fairchard)公司形成Sentry系列以来，继而形成系列的还有泰克（Tektronix）公司的3200系列，泰瑞达(Teradyne)公司的A380系列、A300系列、日木安藤电气（AndoElectron）的8000系列、爱德万(Aduantest)的T3100、T320、T3700系列以及美国Megatest公司的Q-11系列，都**较好的效益 [1] 。http:hzxl7327.b2b168.com
