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关键词:海南天津北京微型气体流量计 广东广州气体流量传感器 FS4001小流量气体质量流量传感器
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FS4001小流量气体质量流量传感器产品简介：FS4001小流量气体质量流量传感器是专门为各类小流量气体的测量和过程控制而设计的。这系列传感器均采用本公司的微机电系统（MEMS）流量传感芯片来制作，适用于各类清洁气体。特的封装技术使之可用于各类管径，、易安装、不需要温度压力补偿，可替代容积式或压差式的传统流量传感器。产品特点： - 传感器灵敏度高,有小的始动流量 - 传感器芯片采用热质量流量计量,温度压力补偿,了传 - 感器的计量 - 在单个芯片上实现了多传感器集成,使传感器的量程比大大提高 - 传感器的零点稳定度高 - 全量程高稳定性 - 全量程和优良的重复性 - 低功耗 - 低压损 - 响应时间快主要参数： 性能参数FS4001单位通 径1.01.8mm 大流量30, 100, 200500, 1000SCCM量程比≥100:1精 度±(1.5+0.2FS)%重复性0.25%读数零点输出飘移±30mV输出飘移±0.12%/oC响应时间4, 8, 16, 33 , 65 , 131mses工作电源8~18Vdc,50mA输出方式线性，232/模拟电压0.5~4.5Vdc 大流量压损350300pa 大工作压力0.5MPa工作温度-10 ~ +55oC存储温度-20 ~ +65oC工作湿度<95%RH（无结冰、无凝露）机械接口可拆式软管接头校准方式空气（或其他气体），20oC，101.325kPa重量15ghttp:gd760357001.b2b168.com
