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关键词:芯片缺陷检测 表面缺陷检测 德国NanoPhotonics公司

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产品概述 NanoPhotonics成立于1997年，其设备主要用于半导体生产中裸芯片表面，边缘，背面的沉积材料及基片的缺陷探测. 产品特点 REFLEX TT桌上型手动缺陷检测系统 1. 65nm微粒灵敏度 2. 激光暗区域测量技术 3. 一级洁净环境 4. 可选晶圆工作台 5. 集成迷你PC和平板显示器 6. 离线分析 7. 工业标准 8. 自动化软件 技术参数 适用不同底材和尺寸 -光罩基板尺寸:2.5'×2.5'—8'×8“

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