薄膜方块电阻测量_产品中心
薄膜方块电阻测量
2022-06-12  信息编号:1514553
价格:¥0.00/
供应:无限制
关键词:电阻测量
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功能特点 ■ 可以实现高温、真空、气氛等条件下测量薄膜方块电阻; ■ 可以实现常温,变温,恒温条件的 I-V、R-T、R-t等测量功能; ■ 可以通过输入样品的面积和厚度,软件自动计算样品的电阻率ρv; ■ 可以分析电阻率ρv与温度T的变化的曲线; ■ 可以与Keithley 2400或2600数字多用表配套; 为了*方便的研究高温条件下半导体或绝缘材料的导电性能,佰力博科技已经研发出HRMS-800G高温四探针测量系统,该系统可以测量硅、锗单晶(棒料、晶片)电阻率、测定硅外延层、扩散层和离子注入层的方块电阻以及测量导电玻璃(ITO)和其它导电薄膜的方块电阻,,该设备按照单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国 A.S.T.M 标准而设计的,*于变温、真空及气氛条件下测试半导体材料电学性能的较佳测量系统。 详细产品链接/gwstz/hrms800gws.html 客 服 热 线:400-600-9734 ■ 技术规格 温度范围:室温-600°C 升温斜率:3°C /min (典型值) 显示精度:±0.1°C 控温精度:±1°C 电阻:10~106 Ω 电阻率:10~106 Ω.cm 方块电阻:10~106 Ω/□ 可测半导体材料尺寸 :薄膜直径: Φ15~30mm 探针间距:2±0.01mm 探针压力: 0~2kg可调,较大压力约2kg 针间绝缘材料:99陶瓷或红宝石 针间绝缘电阻:≥1000MΩ 探针材料:碳化钨 数据传输:2个USB接口 HRMS-800 高温四探针测量系统HRMS-800 高温四探针测量系统HRMS-800 高温四探针测量系统 ■ 订购信息 HRMS-800 高温四探针测量系统 Part Number HRMS-800 测量温度 室温-300°C HRMS8H001 HRMS-800 测量温度 室温-600°C ,带真空气氛 HRMS8H002 01测量仪表选件 /A 2400数字源表、USB-GIPB卡及测量电缆 HRMS8H01A /B 涡旋式干泵 HRMS8H01B /C 旋片真空泵 HRMS8H01C 附件 薄膜四探针更换套件 PLHS-4 温度控制板替换件 PLWKB 高温传感器替换件 PLK-1000 ■ NOTE
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